8888

高技术门槛下的全制程专利布局

 

      截止2019年4月,奥趋光电围绕氮化铝晶圆制程已申请26份中国专利、1份PCT专利。专利布局涵盖材料预处理、长晶工艺、长晶设备、晶圆切割、晶圆抛光、材料检测与表征,以及高质量氮化铝模板制备等全套相关工艺。从而使中国成为继美国、德国之后第三个具备大尺寸氮化铝晶圆制造能力的国家,并处于全球技术领先地位。奥趋光电也随之成为全球范围内领域专利数量最多的企业之一。