科普 | AlScN薄膜材料已悄然现身于iPhone系列手机

2021-04-06 管理员


据麦姆斯咨询报道,5G移动数据传输将越来越多的频段集成于智能手机,因此近年来,每部智能手机中的射频(RF)元器件数量已大大增加,而且还将继续增加,而射频前端模块中价值量最高的即为滤波器。目前,射频前端滤波器常用的压电材料有ZnO、PZT、LT/LN、AlN。其中,AlN与CMOS工艺的兼容性最好,而且AlN没有工业界FAB厂担心的Zn、Pb、Zr元素与其他元素结合的污染。近十年来,AlN压电薄膜及其器件的制备技术不断提高,成熟产品已应用于通信领域。然而,掺杂Sc的AlN薄膜因其压电性能的显著提升而备受关注。研究表明,掺杂35 at% Sc的AlN可以使压电性能Keff²提升至15.5%,是纯AlN的keff²(6%)的2.6倍,其最大相对宽度也由3%提升至7.7%。而后者对于已经分配的新的更宽的5G带宽尤为重要,并能带来更多通信频段的益处。

 

 

 

 

 

据麦姆斯咨询报道,5G移动数据传输将越来越多的频段集成于智能手机,因此近年来,每部智能手机中的射频(RF)元器件数量已大大增加,而且还将继续增加,而射频前端模块中价值量最高的即为滤波器。目前,射频前端滤波器常用的压电材料有ZnO、PZT、LT/LN、AlN。其中,AlN与CMOS工艺的兼容性最好,而且AlN没有工业界FAB厂担心的Zn、Pb、Zr元素与其他元素结合的污染。近十年来,AlN压电薄膜及其器件的制备技术不断提高,成熟产品已应用于通信领域。然而,掺杂Sc的AlN薄膜因其压电性能的显著提升而备受关注。研究表明,掺杂35 at% Sc的AlN可以使压电性能Keff²提升至15.5%,是纯AlN的keff²(6%)的2.6倍,其最大相对宽度也由3%提升至7.7%。而后者对于已经分配的新的更宽的5G带宽尤为重要,并能带来更多通信频段的益处。

 

 

在诸多科技应用领域,苹果(Apple)公司都领先于竞争对手,最明显的便是成像和显示领域,然而在射频(RF)前端模组方面,iPhone系列旗舰手机也在不断采用创新技术,其中就包括基于新型压电材料AlScN的射频滤波器。

 

 

 

iPhone X中高频LTE射频前端模块:博通AFEM-8072

 

 

2018年,iPhone X采用了博通(Broadcom,此前为Avago Technologies)最先进的基于钪掺杂氮化铝(AlScN的滤波器和系统级(SiP)封装。据麦姆斯咨询报道,博通(Broadcom)开发的中高频LTE射频前端模块AFEM-8072应用于iPhone X三个版本中的两个:日本版和SIM-free版。AFEM-8072还采用了先进的电磁干扰(EMI)屏蔽技术,使得射频前端模块可在同一个封装内进行频段共享。

 

 

 

iPhone X中高频LTE射频前端模块:博通AFEM-8072

 

AFEM-8072的先进RF SiP达到了前所未有的集成水平:包含滤波器(18个)、功率放大器、SOI开关等在内的近30颗芯片。滤波器采用Avago的Microcap键合晶圆(bonded-wafer)芯片级封装(CSP)技术和硅通孔(TSV),其中的压电材料为钪掺杂氮化铝(AlScN

 

 

 

 

 iPhone XR射频前端模组:Qorvo QM76018/博通AFEM-8092

 

 

iPhone XR中使用了最新、最先进的滤波器和封装技术,并从两家顶级射频供应商——博通(Broadcom)和Qorvo采购射频前端模组(RFFEM)。其中Qorvo QM76018是Qorvo首款集成双工器(HB/MB PAMiD)的中/高频段功率放大器模组。该模组包含基于钪掺杂氮化铝(AlScN)的体声波(BAW)滤波器和基于砷化镓(GaAs)衬底的功率放大器(倒装芯片)和先进的电磁干扰(EMI)屏蔽,可在同一系统级封装(SiP)中实现频带隔离。

 

 

 

苹果iPhone XR采用射频前端模组“双货源策略”:Qorvo QM76018和博通AFEM-8092

 

QM78016是中/高频LTE射频前端模组,包含多个芯片:功率放大器(PA)、SOI开关、滤波器、电源管理集成电路(PMIC)。其中,滤波器仍采用Qorvo的Copper Flip技术,并带有聚合物腔,可实现散热。体声波(BAW)滤波器首次使用钪掺杂氮化铝(AlScN)作为压电材料,并将无源电容器集成在芯片上。

 

 

 

 

 iPhone XS射频前端模组:博通AFEM-8092

 

 

 

苹果在其旗舰机型(包括iPhone XS、XS max系列)中同样采用了最新的滤波器和封装技术。博通AFEM-8092射频前端模组同样包含基于氮化铝抗(AlScN)的滤波器,并首次使用基于砷化镓(GaAs)衬底的功率放大器(倒装芯片)和先进的电磁干扰(EMI)屏蔽,允许在同一个系统级封装(SiP)中共享频带。

 

博通AFEM-8092

 

AFEM-8092产品与其上一代AFEM-8072一样,都是中/高频段LTE射频前端模组(FEM)。AFEM-8092包含多个芯片:功率放大器、SOI开关和滤波器。其中,滤波器仍采用Avago的键合晶圆(bonded-wafer)芯片级封装(CSP)技术和硅通孔(TSV),其中的压电材料为钪掺杂氮化铝(AlScN

 

 

 

iPhone 11系列中的射频前端模组:博通AFEM-8100

 

 

2019年,博通首次选择了双面球栅阵列(BGA)封装,结合新的电磁干扰(EMI)屏蔽技术,以实现具有频带共享的高密度系统级封装(SiP),继续沿用基于AlScN压电材料的滤波器,并借此成为iPhone11系列手机多个版本(包括11、11 Pro和11 Pro Max)射频前端模组的唯一供应商。

 

 

博通第三代中频/高频射频前端模组AFEM-8100

 

 

与其前一个版本AFEM-8092一样,AFEM-8100也是一款中频/高频(MB和HB)长期演进(LTE)射频前端模组。它集成了多颗芯片,包括功率放大器(PA)、绝缘体上硅(SOI)开关和薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。该滤波器仍采用了Avago的Microcap键合晶圆(bonded wafer)芯片级封装(CSP)技术,通过硅通孔(TSV)实现电气接触,并使用掺钪氮化铝(AlScN)作为压电材料

 

 

 

iPhone 12系列中的射频前端模组:博通AFEM-8200

 

 

2020年,博通依旧成为苹果最新iPhone12系列所有版本手机(12、12 Mini、12 Pro、12 Pro Max)的唯一射频前端模组供应商。作为iPhone首代5G手机,iPhone 12使用的高通AFEM-8200不仅与其前身8100一样是一款中频/高频(MB和HB)长期演进(LTE)射频前端模组,同时也是iPhone中使用的首款5G射频前端模组,基于氮化铝钪(AlScN)的滤波器方案依然沿用,并发挥更大效能。

 

 

 

博通AFEM-8200

 

高通AFEM-8200包括功率放大器(PA)、绝缘体上硅(SOI)开关和薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。滤波器依然使用Avago的Microcap键合晶圆芯片级封装(CSP)技术,并依然使用掺钪氮化铝(AlScN)作为压电材料。

 

 

 

AlScN:下一代射频滤波器首选的高端压电材料

 

 

 

博通(Broadcom)每年都会改进滤波器和封装技术,提供具有成本效益的射频前端模块,并减少互连,以便与其它市场参与者竞争,并维持与苹果的合同,Qorvo等其他竞争对手也在这一领域不断创新,但无论在Broadcom还是Qorvo的解决方案中,掺钪氮化铝(AlScN)始终是滤波器的首选压电材料。

 

在硅上AlScN(左)和蓝宝石上AlScN(右)晶圆上制造的声表面波(SAW)谐振器

 

据报道,氮化铝钪(AlScN)是最有希望替代智能手机中射频滤波器所用氮化铝(AlN)的新材料,通过在AlN中掺入钪(Sc),可以提高材料的机电耦合系数和压电系数,实现更有效的机械能-电能转换,从而提高射频元器件的工作效率,是下一代射频滤波器首选的高端压电材料。

 

 

综合整理麦姆斯咨询(MEMS)、Systemplus Consulting等相关资料报道