行业新闻
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行业 | 瑞典林雪平大学等在AlN单晶衬底上制备出创纪录迁移率、薄沟道AlGaN/GaN/AlN双异质结HEMT器件
本研究开发了一种可控碳掺杂的两步生长工艺,利用热壁金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,成功在AlN单晶衬底上实现了150 nm和50 nm厚GaN沟道层的完全融合生长。所制备的HEMT器件展现出国...
阅读全文行业 | 宁波材料所等在GaN/AlN高质量异质外延及其AlN背势垒HEMT器件领域取得进展
AlN背势垒高电子迁移率晶体管(HEMTs)通过在AlN背势垒上生长超薄GaN沟道层,在高压、高频应用中展现出巨大潜力。然而,由于GaN与AlN之间存在晶格失配和热失配,需对薄GaN沟道层的生长模式进...
阅读全文行业 | 北卡罗纳州立大学基于AlN单晶衬底实现击穿场强达12.3 MV/cm、理想因子低至1.1的创纪录性能AlN SBD器件
本研究通过在硅掺杂氮化铝(Si:AlN)中引入点缺陷和扩展缺陷调控机制,有效抑制了载流子补偿效应,成功实现了300 cm²/(V·s)的高电子迁移率和26 Ω·cm的低电阻率。基于此掺杂技术,我们设计...
阅读全文行业 | 北京大学在AlN低温MOCVD Si外延掺杂取得突破性进展
低温掺杂为调控氮化铝(AlN)导电性提供了一种极具潜力的解决方案。作为下一代光电子和电子器件的理想候选材料,AlN的高质量生长通常需要高温工艺,而金属有机化学气相沉积(MOCVD)是目前主流的生长方法...
阅读全文行业 | HexaTech推出面向功率/射频器件的N-polar AlN单晶衬底产品
美国HexaTech公司近日宣布推出了基于优化(加工)工艺的N-polar AlN单晶衬底。相较于常规的Al-polar AlN单晶衬底器件外延生长工艺,基于高质量N-polar 表面制备的器件可带来...
阅读全文行业 | 全球半导体硅片巨头Siltronic、IKZ等强强联合推进4英寸AIN单晶衬底产业化
半导体领域的三大领军机构——德国莱布尼茨晶体生长研究所(IKZ)、半导体设备制造商PVA TePla AG与全球半导体硅片巨头世创电子材料公司(Siltronic AG, FWB:WAF)近日宣布开展...
阅读全文行业 | 康乃尔大学在AIN单晶衬底成功制备出创纪录性能X-band HEMT器件
氮化铝(AlN)在纤锌矿型III族氮化物半导体体系中具有最大带隙,这一特性使其成为构建场效应晶体管中薄GaN沟道强载流子限制的理想势垒材料,其作用机制类似于绝缘体上硅(SOI)技术。相较于SiO₂/S...
阅读全文行业 | 四代半导体材料:引领电子革命的超宽禁带先锋
随着电子信息技术的不断发展,半导体材料也经历了数代更迭。第一代半导体材料奠定了微电子产业的基础;第二代半导体材料奠定了通信产业的基础;目前以碳化硅、氮化镓为 代表的第三代半导体材料具有耐高压、耐高温等...
阅读全文行业 | 西电/北大团队在AlN模板上成功开发出耐压大于8000V的HEMT器件
单晶氮化铝(AlN)模板是氮化镓(GaN)功率高电子迁移率晶体管(HEMTs)的理想候选材料,但目前相关系统性研究仍较为匮乏。本研究成功制备并系统评估了2英寸AlN模板上的高性能GaN HEMTs器件...
阅读全文行业 | 佛罗里达大学/宾州州立大学实现超11 kV横向NiO/AlN异质结整流器及8.6 kV肖特基二极管
通过金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在蓝宝石衬底生长的氮化铝(AlN)外延层上制备出了击穿电压高达11.6 kV的横向NiO/AlN异质结二极管(HJDs)和击穿电压高达8.6 kV的Ni/Au/...
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