快讯| 奥趋光电应邀拜访、参观浙江大学微纳加工中心

2020-07-26 管理员


应浙江大学特聘教授、研究员,微纳加工中心常务副主任孙一军博士邀请,奥趋光电首席执行官兼总经理吴亮博士一行7月22日拜访了浙江大学微纳加工中心。

 

    应浙江大学特聘教授、研究员,微纳加工中心常务副主任孙一军博士邀请,奥趋光电首席执行官兼总经理吴亮博士一行7月22日拜访了浙江大学微纳加工中心,孙一军主任热情接待了吴亮博士一行。

 

    吴亮博士一行首先在孙一军博士的带领下,参观了浙江大学微纳加工中心。孙一军博士对微纳加工中心从基础建设、外围动力、安防体系到实验室布局、超净间管理,再到实验设备、实验器材等各方面进行了详细的介绍,并带领吴亮博士一行进入洁净室,对主要设备设施进行了实地参观和细致讲解。吴亮博士对于微纳加工中心先进的加工设备、良好的实验环境、严格的管理制度表示了高度的赞赏,并表达了希望基于加工中心开展多层次产学研合作的意愿。

 

 

    参观结束后,双方进行了座谈。吴亮博士首先介绍了奥趋光电的企业概况、各产品研发进展,并着重介绍了公司氮化铝单晶衬底、硅基氮化铝薄膜模板、蓝宝石基氮化铝薄膜模板、氮化铝PVT单晶气相沉积炉四大产品板块取得的成果,以及核心技术产品——氮化铝单晶衬底的量产推进计划。孙一军博士对奧趋光电在氮化铝材料研发领域长期、持续高强度研发投入以及所取得的突破性成果给予了高度认可,同时对奧趋光电在科研成果转化,创新技术市场化、产业化方面所做努力表示了赞赏。

 

    随后,孙一军主任介绍了浙江大学微纳加工中心的设立背景、发展现状、及核心优势:目前微纳加工中心已具备芯片制造全流程所需的所有主要设备。此外,孙一军博士还分享了微纳加工中心在实验室管理、实验人员团队管理等方面的严谨制度和先进经验。吴亮博士对于微纳加工中心设立的战略前瞻性、运营和服务理念的先进性、管理的科学性给予了高度认可。最后,双方就下一步浙江大学微纳加工中心与奥趋光电就产学研多层次合作等进行了详细探讨。

 

 

 

 

关于浙江大学微纳加工中心:

 

    浙江大学微纳加工中心是浙江大学“十三五”规划的重点建设项目之一,是浙江大学开展与促进纳米科技及多学科交叉研究的重要创新平台。中心的建设目标是建成集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体的,开放式、一站式科研实验室,为浙江大学各相关学科以及校外科研机构提供一个全方位的科研与创新平台。

 

    中心拥有实验室总面积约1200平米,其中百级洁净区200平米,千级洁净区800平米,拥有先进的微纳加工设备及测试设备。

 

    中心定位于微纳技术发展前沿,结合校内信电、光电、电气、物理、材料、机械等学科的需求特点,建设了基于多种半导体材料的微米/纳米图形制备、薄膜沉积/生长、干法及湿法刻蚀、表征测试及封装的体系化、模块化工艺链,适用于微电子器件、光电子器件、量子器件、功率器件、MEMS、二维材料器件、柔性/可穿戴电子器件、集成电路芯片等工艺的微纳加工。

 

 

关于奥趋光电:

 

    奥趋光电是由海归博士、半导体领域顶尖技术专家领衔,于2016年5月创立的高新技术、创新型企业,总部位于浙江省杭州市。奥趋光电核心专注于第三代/第四代超宽禁带半导体氮化铝晶圆衬底材料、硅基/蓝宝石基氮化铝薄膜模板、全自动氮化铝PVT气相沉积炉及其相关产品的研发、制造与销售,核心产品被列入《中国制造2025》关键战略新材料与装备目录,是制备深紫外LED芯片、5G射频前端滤波器、MEMS压电传感器等各类紫外发光器件、高温/高频射频器件、高频/高功率电子及激光器件的理想衬底/压电材料。

 

    奥趋光电经过多年的高强度研发投入,成功开发出全球最大,直径60mm的氮化铝单晶及晶圆,也是全球首家硅基/蓝宝石基氮化铝薄膜模板大批量制造商。目前可向客户提供1英寸/2英寸高质量氮化铝单晶衬底、4/6/8英寸硅基及2/4/6英寸蓝宝石基氮化铝薄膜模板、氮化铝单晶气相沉积炉及热处理设备等产品,同时向客户及合作伙伴提供从设备设计、热场设计、热场模拟仿真技术开发、咨询及生长工艺优化到晶圆制程等全环节的完整工艺解决方案与专业技术服务。截止2020年7月,共申请/授权国际、国内专利36项,是全球范围内本领域专利数量最多的团队之一,被公认为本领域全球技术的领导者。